廢氣處理采用廢氣處理方案的太陽能電池生產線的生產工藝包括制絨、擴散、涂布、印刷等工序。在生產過程中,會使用大量的化學試劑,如鹽酸,硝酸、硫酸、氫氧化鉀(或氫氧化鈉、強制氣體、醇類等。
廢氣處理中這些化學試劑會釋放大量有害廢氣和廢氣排放,主要氣體有氧化氫、氧化氫、氧氣、大花蕙蘭、氣體、硅烷、醇類等經有效處理,達到國家和地方排放標準后,可排入大氣。
廢氣處理中廢氣分析。在羊絨生產過程中,廢氣的主要來源是羊絨生產和清洗設備,根據不同的工藝,廢氣的種類也不同。主要廢氣有氧化物、堿蒸汽和醇類(單晶)。
擴散過程廢氣分析擴散過程主要涉及廢氣排放設備,石英管清洗機、石墨舟清洗機等,擴散爐排放的廢氣為酸性廢氣和熱廢氣。本項目酸性廢氣主要為氯等含氟廢氣。石英管清洗機和石墨洗船機產生的廢氣主要是含氫氧化物和氧化氫的酸性氣體。
廢氣處理中,涂裝過程中涉及的主要設備有脫磷硅玻璃清洗機和PECVD。脫磷硅玻璃清洗機廢氣主要成分為氧化氫和氧化氫,PECVD廢氣主要為硅烷和氣體。印刷過程中涉及的主要設備是印刷機和燒結爐。產生的廢氣主要是有機廢氣,主要含有脂類和醇類
根據廢氣分析,太陽能電池生產線產生的廢氣按處理方法可分為三類:酸堿廢氣、硅烷及氨氣等特殊氣體、酸堿廢氣凈化系統本項目涉及的酸堿廢氣來自羊絨清洗機、擴散爐、脫磷石英玻璃清洗機、石英管清洗機、石墨洗船機等,主要成分為HF/HC/ci2/堿蒸汽。
廢氣處理中,這些廢氣易溶于水,可用酸堿中和法處理。一般采用堿液噴淋凈化廢氣。本項目廢氣處理分為擴散室和其他廢氣。擴散室酸堿廢氣采用1臺dgs-b-15型廢氣洗滌塔處理,其余酸堿廢氣采用dgs-b-40型廢氣洗滌塔處理。
廢氣洗滌塔主要由以下部分組成:洗滌塔、自動加藥系統、玻璃鋼離心風機、玻璃鋼風管、排氣筒及防護鋼架、電氣控制柜等。